R300 - CNC
테이블 사양 및 정도 (C-축)
테이블Ø : 450 mm, 측정경Ø : 1000 mm, Load : 1200 Kg
센터링 범위 : +/- 5 mm, 레벨링 범위 : +/-1°
테이블 정밀도 : 0.1 ㎛
칼럼축 사양 및 정도 ( Z – 축 )
유효 이동 높이 : 500mm, 운용 : 자동 (motorized)
진직도 오차 : 0.2㎛(100 mm), 진직도 오차:0.5㎛ (500 mm)
측정 속도 : 0.5 ~ 2 mm / sec, 위치이동속도0 ~ 15mm/sec
센터링 및 틸팅 작업
측정 실행 전의 준비 과정 단계인 센터링 및 틸팅 작업이 쉽고 간단히 이루어짐.(Semi-Auto Function)
(컴퓨터의 화면 지원에 따라 작업자가 조정 작업을 수행함)
ARM축 사양 및 정도 (R-축)
유효 이동 거리 : 500 mm, 운용 : 자동 (motorized)
진직도오차:0.5 ㎛ (500 mm)
위치이동속도 : 0.2~10 mm / sec
검출기 사양 및 응용
양 방향 검출가능 프로브
측정 변위 : 1.0 mm, 최소 분해능: 0.001 ㎛
프로브는 Horizontal, vertical, lateral 장치 응용
3축 구동방식 및 분석
3축 모두 air bearing type
FULL CNC운용(3축 스케일 시스템 내장)
FFT분석이 가능(A/D변환데이타를 Noise분석에 활용)
