R500 - CNC

테이블 사양 및 정도 (C-축)

테이블Ø : 650 mm, 측정경Ø : 1300 mm, Load : 1500 Kg

센터링 범위 : +/- 5 mm, 레벨링 범위 : +/-2°

테이블 정밀도 : 0.1 ㎛

칼럼축 사양 및 정도 ( Z – 축 )

유효 이동 높이 : 650mm, 운용 : 자동 (motorized)

진직도 오차 : 0.2㎛(100 mm), 진직도 오차:0.5㎛ (500 mm)

측정 속도 : 0.5 ~ 2 mm / sec, 위치이동속도0 ~ 15mm/sec

센터링 및 틸팅 작업

측정 실행 전의 준비 과정 단계인  센터링 및 틸팅 작업이  쉽고 간단히 이루어짐.(Semi-Auto Function)

(컴퓨터의 화면 지원에 따라 작업자가 조정 작업을 수행함)

사양 및 정도 (R-축)

유효 이동 거리 : 650 mm, 운용 : 자동 (motorized)

진직도오차:0.5 ㎛ (500 mm)

위치 이동 속도 : 0.2~10 mm / sec

검출기 사양 및 응용

양 방향 검출가능 프로브

측정변위 : 1.0 mm, 최소 분해능: 0.001 ㎛

프로브는 Horizontal, vertical, lateral 장치 응용

3축 구동 방식 및 분석

3축 모두 air bearing type

FULL CNC운용 가능(3축 스케일 시스템 내장)

FFT분석이 가능(A/D변환 데이타를 Noise분석에 활용)

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