R100 - MANUAL
테이블 사양 및 정도 (C-축)
테이블Ø : 160 mm, 측정경Ø : 320 mm, Load : 20 Kg
센터링 범위 : +/- 3 mm, 레벨링 범위 : +/-2°
테이블 정밀도 : 0.1 ㎛
칼럼축 사양 및 구동 ( Z – 축 )
유효 이동 높이 : 300mm
운용 : Manual
센터링 및 틸팅작업
측정 실행 전의 준비 과정 단계인 센터링 및 틸팅 작업이 쉽고 간단히 이루어짐.(Semi-Auto Function)
(컴퓨터의 화면 지원에 따라 작업자가 조정 작업을 수행함)
ARM축사양 및 구동 (R-축)
유효 이동 거리 : 175 mm
운용 : Manual
검출기 사양 및 응용
양 방향 검출가능 프로브
측정변위 : 0.6 mm, 최소 분해능: 0.001 ㎛
프로브 홀더 180° 회전 가능(홈부 측정 용이)
테이블 구동방식 및 분석
Ball bearing type으로 외부 에어 필요 없음.
Manual 운용
FFT분석이 가능(A/D변환 데이타를Noise 분석에 활용)
